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    • TEBO兆聲波清洗設(shè)備

      應(yīng)用于無損傷微小缺陷去除工藝，及更精細(xì)的高縱橫比的3D結(jié)構(gòu)

    • 單晶圓清洗設(shè)備

      應(yīng)用于先進(jìn)集成電路制造，包括邏輯電路，存儲器以及功率器件制造

    • TAHOE清洗設(shè)備

      應(yīng)用于去膠和先進(jìn)清洗

    • 背面清洗設(shè)備

      應(yīng)用于背面清洗或者濕法刻蝕工藝

    • 電鍍設(shè)備

      應(yīng)用于晶圓級封裝

    • 刷洗設(shè)備

      應(yīng)用于集成電路與晶圓級封裝領(lǐng)域