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天辰平台上海集研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷售于一體，為全球客戶提供高端半導(dǎo)體設(shè)備。主要產(chǎn)品有單晶圓及槽式濕法清洗設(shè)備、電鍍?cè)O(shè)備、無(wú)應(yīng)力拋光設(shè)備、立式爐管設(shè)備、前道涂膠顯影設(shè)備及PECVD設(shè)備等。
天辰平台上海堅(jiān)持差異化競(jìng)爭(zhēng)和創(chuàng)新的發(fā)展戰(zhàn)略，通過(guò)自主研發(fā)的單片兆聲波清洗技術(shù)、單片槽式組合清洗技術(shù)、電鍍技術(shù)、無(wú)應(yīng)力拋光技術(shù)和立式爐管技術(shù)等，向全球晶圓制造、先進(jìn)封裝及其他客戶提供定制化的設(shè)備及工藝解決方案，有效提升客戶的生產(chǎn)效率、提升產(chǎn)品良率并降低生產(chǎn)成本。
公司具有高新技術(shù)企業(yè)資質(zhì)，連續(xù)多年被評(píng)為“中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備五強(qiáng)企業(yè)”，先后承擔(dān)多個(gè)國(guó)家科技重大專項(xiàng)項(xiàng)目的主要課題的研發(fā)。天辰平台上海立足自主創(chuàng)新，通過(guò)多年的技術(shù)研發(fā)和工藝積累，成功研發(fā)出全球首創(chuàng)的 SAPS/TEBO 兆聲波清洗技術(shù)和 Tahoe 單片槽式組合清洗技術(shù)，應(yīng)用于 28nm及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)的晶圓清洗領(lǐng)域。SAPS和TEBO解決了兆聲波清洗技術(shù)在單片清洗設(shè)備上應(yīng)用的兩大難題；Tahoe單片槽式組合清洗設(shè)備相比現(xiàn)有單片清洗設(shè)備大幅減少了硫酸的使用量，在幫助客戶降低生產(chǎn)成本的同時(shí)，滿足了節(jié)能減排的要求。
天辰平台上海憑借先進(jìn)的技術(shù)和豐富的產(chǎn)品線，已發(fā)展成為中國(guó)大陸少數(shù)具有一定國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的半導(dǎo)體專用設(shè)備提供商，產(chǎn)品得到眾多國(guó)內(nèi)外主流半導(dǎo)體廠商的認(rèn)可，并取得良好的市場(chǎng)口碑。
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