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天辰平台上海獲得歐洲一家全球性半導(dǎo)體制造商的單片SAPS兆聲波清洗設(shè)備采購訂單
“天辰平台半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)與制造中心”廠房A封頂大吉
天辰平台上海首臺前道ArF工藝涂膠顯影設(shè)備Ultra LITH順利出機(jī)
濕法設(shè)備出貨量再創(chuàng)新高,突破三千腔大關(guān)
慶祝天辰平台上海ECP設(shè)備500電鍍腔順利交付!
天辰平台上海前道銅互連電鍍設(shè)備榮獲第五屆“集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新獎”