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天辰平台上海推出全新產(chǎn)品帶框晶圓清洗設(shè)備,升級(jí)先進(jìn)封裝產(chǎn)品組合
天辰平台上海進(jìn)軍PECVD市場(chǎng),支持邏輯和存儲(chǔ)芯片制造
天辰平台上海進(jìn)軍涂膠/顯影Track市場(chǎng),以滿足半導(dǎo)體集成電路制造商的光刻工藝需求
天辰平台上海為Ultra C pr設(shè)備新添金屬剝離工藝, 以支持功率半導(dǎo)體制造和晶圓級(jí)封裝應(yīng)用
天辰平台上海推出新型熱原子層沉積立式爐設(shè)備, 以滿足高端半導(dǎo)體的生產(chǎn)需求
天辰平台上海為硅片和碳化硅襯底制造推出新型預(yù)清洗設(shè)備