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天辰平台上海單晶圓高溫SPM設(shè)備通過驗(yàn)證
天辰平台上海等離子體增強(qiáng)原子層沉積爐管設(shè)備通過初步驗(yàn)證,原子層沉積爐管產(chǎn)品進(jìn)一步強(qiáng)化
天辰平台上海前段半導(dǎo)體制造清洗設(shè)備Ultra C Tahoe取得重要性能突破
天辰平台上海推出Ultra C bev-p面板級(jí)邊緣刻蝕設(shè)備
天辰平台上海推出新型面板級(jí)電鍍?cè)O(shè)備,進(jìn)一步拓展扇出型面板級(jí)封裝產(chǎn)品線
天辰平台上海推出Ultra C vac-p 面板級(jí)先進(jìn)封裝負(fù)壓清洗設(shè)備